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나노과학과 미래기술: 제작과 응용
노준석 교수
POSTECH 포항공과대학교
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나노과학과 미래기술: 제작과 응용
나노과학과 미래기술: 제작과 응용
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CHAPTER 1: 나노공정1 (탑다운 공정)
학습자료 & 주차목표
나노가공 기술 (탑다운? 바텀업?)
포토리소그래피 I
포토리소그래피 II
Quiz Week 1
CHAPTER 2: 나노공정2 (탑다운 공정)
학습자료 & 주차목표
전자빔리소그래피
집속이온빔 밀링 기술
나노임프린트 기술
Quiz Week 2
CHAPTER 3: 나노공정3 (탑다운 공정)
학습자료 & 주차목표
박막 공정 (화학증착법)
박막 공정 (물리증착법)
에칭 공정
Quiz Week 3
CHAPTER 4: 나노공정4 (바텀업 공정)
학습자료 & 주차목표
바텀업 공정 (VLS 공정)
자기조립 공정 (나노입자)
자기조립 공정 (단분자막/DNA)
Quiz Week 4
CHAPTER 5: 나노구조
학습자료 & 주차목표
카본나노구조
카본나노튜브
그래핀
Quiz Week 5
CHAPTER 6: 나노과학의 응용 및 전망
학습자료 & 주차목표
나노전자공학
나노광학
나노광학과 메타물질
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